电子级氢氟酸
电子级氢氟酸是氟化氢的水溶液,为无色通明液体, 在25℃时密度1.15gml(50% HF)。对金属、玻璃、混凝土等拥有强烈侵蚀性。电子级氢氟酸作为集成电路（IC）造作的关键性基础化工资料之一 ，重要用于芯片的洗濯和侵蚀 ，用时可与过氧化氢、氨水、硝酸、醋酸等配造使用。它的纯度和干净度对集成电路的制品率、电机能及靠得住性都有着极度沉要的影响。有强烈侵蚀性 ，其蒸气拥有刺激性 ，接触皮肤可引起严沉烧伤且不易治愈 ，应吓酌大量水冲刷后就医。使用时应戴好防护用具 ，预防吸入呼吸路。电子级氢氟酸拥有种类多、用量大、技术要求高、贮存有效期短和强侵蚀性等特点。
电子级氢氟酸重要用于集成电路造作行业、液晶面板造作行业以及太阳能电池造作行业。目前国内表造备高纯氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、气体吸收等技术 ，其根基都以工业氢氟酸和无水氢氟酸为原料 ，但均经过粗馏、精馏、吸收、冷凝、膜过滤、灌装等工段。国际高纯试剂等级应切合SEMI国际尺度等级。
截止目前 ，国内电子级氢氟酸未造订国度尺度 ，各出产厂家凭据电子化学分类造订各自企业尺度来检验出产的电子级氢氟酸是否满足集成电路所需�８勒辗制缬么Α⒎制绱慷瓤煞治猆P-S级或MOS试剂、UP级和EL级 ，具体为：
造备电子级氢氟酸所利用的测试仪器有:电感耦合等离子高频质谱分析仪( ICP - MS)；电感耦合等离子原子发射分析仪( ICP - AES)；原子吸收分光光度计；氧原子产生无焰原子吸收分析仪；离子色谱分析仪；激光散射液体微粒计数器；水表表杂质分析系统；原子间力显微镜；光学显微镜微粒计数器；扫描电子显微镜；光学膜厚测定和表表仿形仪；表表张力测定仪；空气中尘埃微粒测定仪；水电阻率测定仪等。
